L'azote de haute-pureté est utilisé comme gaz protecteur et vecteur dans la fabrication de circuits intégrés, de semi-conducteurs et d'appareils électroniques sous vide ; il sert de gaz porteur dans le dépôt chimique en phase vapeur ; il transporte le gaz dans des sources de diffusion liquide ; et il agit comme un gaz protecteur pour les appareils dans les fours à diffusion à haute température.
L'azote de haute-pureté est utilisé comme gaz pour le déplacement, le séchage, le stockage et le transport dans des processus tels que l'épitaxie, la photolithographie, le nettoyage et l'évaporation. Une pureté d’azote de 99,99 % ou plus est requise dans la fabrication de tubes cathodiques. Dans la technologie aérospatiale, les systèmes de ravitaillement en hydrogène liquide doivent d'abord être purgés avec de l'azote de haute-pureté, suivi d'hélium de haute-pureté.
En décembre 2025, l'Administration d'État pour la régulation du marché a approuvé et publié le matériau standard national pour l'azote de haute-pureté, qui est utilisé dans des processus clés tels que le nettoyage, la gravure et le dépôt dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs, ainsi que dans des processus tels que la photolithographie, l'implantation ionique et l'oxydation dans la production de circuits intégrés.